Hiden HPR-20 EGA是一台带QIC（石英惰性毛细管）的台式质谱仪，可在100mbar至2bar压力范围内取样。系统包括一个外部干式涡旋泵，以提供高性能的组合样品旁通和UHV前级管线泵送，为轻质气体提供快速响应和有效泵送。轻气体的有效泵送使得能够使用氦气作为TGA-MS研究的载气，而不会影响样品流量和响应。与氮气或氩气相比，使用氦气作为TGA-MS研究的载气的好处是减少了氦气对质谱的干扰。TGA界面包括再入炉取样，提供与TGA炉区的紧密耦合，以优化析出气体/蒸汽分析。

质量数范围：1～200 amu ；气体取样系统：a）内置惰性石英毛细管，外部为不锈钢套，柔韧，可弯曲；b) 加热温度至200 ℃，2 m长；c) 300 ms内对于气体浓度的变化做出反应；d) 取样管流量：1～20 sccm，可调节；e) 取样压力：100 mbar～2 bar，自适应；f) 取样响应时间：≤150 ms/米毛细管；g)检测极限：100 ppb～1 ppm；

真空系统：60 L/sec涡轮分子泵、一台涡旋泵；压力显示：具有真空计在仪器外部显示质谱仪工作压力

测量通道：最多200个，MID 模式；最小扫描步阶：0.01 amu；快速扫描速度：100 amu/s；

最小检测分压：法拉第杯检测器1×10－11 mbar；电子倍增器5×10－14 mbar；

软离子化技术：离子源可改变电离电压4～150 ev；离子源：电子轰击离子源，铱灯丝

操作软件：a)可以实时记录、显示实验过程和实验参数；b)可控制和显示四极杆参数；c)定量数据分析：i) 自动将测量浓度与参考气体进行对比、评估；ii) 所有数据总和与100%水平对比。计算包括相对灵敏度和气体的校正参数；iii) 矩阵倒置算法：质谱数据反褶积进行精确地浓度分析；d)多窗口操作界面；e)具有动态数据交换能力；f)离子源控制： i) 电子能量扫描：4～150 ev；ii) 离子源离子能量扫描：0～10 ev；iii) 发射电流扫描：20 μA～2 mA。